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cnzzs70m

新虫 (初入文坛)

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[求助] 关于四探针测试报错的问题，求指教。

四探针电阻测试仪，仪器型号为cresbox 1.10m remote

测试样品及结果为：
1. 单晶硅基底表面镀金膜（0.2mm）：可测出涂层方阻值；
2. 95陶瓷片（1mm）：测试报错；
3. 95陶瓷片表面镀微晶玻璃涂层（1mm）：测试报错；
4. 316L不锈钢基底表面镀Al2O3薄膜（0.5mm）：测试报错。

P.S.
1. 上面括号内为基底+涂层总厚度数值；
2. 报错并非提示样品电阻超过上限或短路，这两个原因可排除；
3. 后面三种样品报错情况相同，应为同一种原因；
4. 报错时连续出现报警声，三次报警后探针离开样品表面，测试界面出现IMPROPER的提示；
5. 初步推测可能是检测不到样品之类的原因导致报错。
6. 主要是想测试3#样品及95陶瓷片表面镀微晶玻璃涂层的方阻值，但是一直报错，很郁闷。

希望有懂的老师指点一下，这种情况应该怎么做才能把3#样品的方阻测出来，谢谢！！