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fmhan

银虫 (著名写手)

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注册: 2007-03-08
专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] ALD制备的TiN膜为什么导电性不好，求助！！！已有1人参与

用ALD制备了TiN膜，颜色呈金黄色，但测试电阻很大50千欧厘米，可能有些什么原因？180度沉积，沉积完了直接放气进去，会不会与氧化有关？
请大神们赐教！

已解决，谢谢！

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1楼 2015-01-26 09:05:40

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wadaxiwa

木虫 (小有名气)

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性别: GG
专业: 金属结构材料

【答案】应助回帖

50K?你这确定是TIN吗？建议先测测XPS成分。我一般长得也就100-200uΩ.cm的电阻，除非你成分有问题

2楼2022-05-25 09:34:39

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