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fmhan银虫 (著名写手)
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[求助]
ALD制备的TiN膜为什么导电性不好，求助！！！ 已有1人参与
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用ALD制备了TiN膜，颜色呈金黄色，但测试电阻很大50千欧厘米，可能有些什么原因？180度沉积，沉积完了直接放气进去，会不会与氧化有关？ 请大神们赐教！ 已解决，谢谢！ |
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wadaxiwa
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2楼2022-05-25 09:34:39