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fmhan银虫 (著名写手)
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[求助]
ALD制备的TiN膜为什么导电性不好,求助!!! 已有1人参与
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用ALD制备了TiN膜,颜色呈金黄色,但测试电阻很大50千欧厘米,可能有些什么原因?180度沉积,沉积完了直接放气进去,会不会与氧化有关? 请大神们赐教! 已解决,谢谢! |
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wadaxiwa
木虫 (小有名气)
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