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cruiser0631

新虫 (初入文坛)

[求助] SC-1洗液清洗硅片用作AFM基片会不会明显增加表面粗糙程度? 已有1人参与

用H2O2:氨水:水=1:1:5加热至80度清洗20min,会不会增加硅片表面粗糙程度?样品厚度在1nm左右,会不会影响观察?多谢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
cruiser0631: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2015-01-30 12:41:07
会因为腐蚀导致硅片表面粗糙度略微增加。
一般国产硅片的粗糙度都在1nm以上,而你的样品只有1nm,所以不建议你用国产片,也不要用一号液洗。可以买进口超平的硅片,粗糙度会<0.5nm,比较贵。
2楼2015-01-29 16:59:39
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