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bryano

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】硅衬底表面电极怎么做成欧姆接触?

在硅衬底上,蒸银和磁控溅射银的方法都用了,再上银胶铜导线,还是不能达到欧姆接触的目的。请教下哪位达人知道该怎么做?

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-9 at 21:36 ]
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bryano

木虫 (正式写手)

我用的Si,P型和N型都有。文献报道有金电极,铝电极也有,银应该也可以吧?具体跟功函数什么的有什么关系吗?
4楼2008-06-06 00:35:58
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qianshou

木虫 (正式写手)


NJUT_tiger(金币+1,VIP+0):热心助人,谢谢。。。
首先 你要 确定你 使用 的 是 N还是 P型 Si,功函数 是 多少 ?再来 选择 金属 电极,N的话 好像 AlTi合金能 满足 要求 。
2楼2008-06-05 11:10:50
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skysnow1122

金虫 (小有名气)

N型和P型到底对沉膜有什么影响
3楼2008-06-05 14:51:49
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