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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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东北猴子

新虫 (初入文坛)

[求助] 有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗 已有1人参与

有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗,遇到点问题,可以做到3微米周期左右的图形吗,图形均匀吗,最近在光刻方面遇到点问题,曝出来的图像是孔状的,与掩膜板相距过大,不知如何解决,还请大神帮助

有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗
SiO2.jpg
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东北猴子

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-01-23 10:03:06
你掩模板上的图形是什么样的,两者对比才能看出问题

掩膜板是一个一个排列整齐的凸出正方形结构
3楼2015-01-26 15:16:55
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你掩模板上的图形是什么样的,两者对比才能看出问题
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
2楼2015-01-23 10:03:06
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

先看看你曝光的参数是不是最佳焦面,如果是:如果圆比方小,则是曝光不足,否则是曝光过度。  不足就增加曝光时间,过量就减小。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
4楼2015-01-26 17:21:03
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