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有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗已有1人参与
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有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗，遇到点问题，可以做到3微米周期左右的图形吗，图形均匀吗，最近在光刻方面遇到点问题，曝出来的图像是孔状的，与掩膜板相距过大，不知如何解决，还请大神帮助 SiO2.jpg |
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yuanxin5254
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2楼2015-01-23 10:03:06
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yuanxin5254
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4楼2015-01-26 17:21:03