| 查看: 683 | 回复: 3 | ||
[求助]
有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗 已有1人参与
|
有用传统光学紫外曝光机做亚波长结构的吗，遇到点问题，可以做到3微米周期左右的图形吗，图形均匀吗，最近在光刻方面遇到点问题，曝出来的图像是孔状的，与掩膜板相距过大，不知如何解决，还请大神帮助 SiO2.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有172人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 表面等离子体亚波长光学
已经有300人回复
yuanxin5254
金虫 (正式写手)
- 应助: 26 (小学生)
- 金币: 1035.4
- 散金: 165
- 红花: 2
- 帖子: 302
- 在线: 105.3小时
- 虫号: 3010956
- 注册: 2014-03-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
2楼2015-01-23 10:03:06
3楼2015-01-26 15:16:55
yuanxin5254
金虫 (正式写手)
- 应助: 26 (小学生)
- 金币: 1035.4
- 散金: 165
- 红花: 2
- 帖子: 302
- 在线: 105.3小时
- 虫号: 3010956
- 注册: 2014-03-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
4楼2015-01-26 17:21:03
