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stent

金虫 (著名写手)

[交流] 【求助】测膜厚都有哪些办法?

做了些碳纳米膜,不知道该怎么测厚度...
多谢!

[ Last edited by SHY31 on 2008-6-6 at 11:59 ]
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joyu


SHY31(金币+1,VIP+0):鼓励新虫,希望常来材料版
 散射强度法
 干涉条纹法
 线形模拟法
《薄膜、多层膜和一维超点阵材料的
X 射线分析新进展》里有具体的介绍
作者 杨传铮
(上海大学理学院物理系 上海 201800)
本文可在此论坛里找到
2楼2008-06-06 10:37:36
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yanstar

木虫 (小有名气)

找腐蚀液进行腐蚀,在有膜的地方和无膜的地方形成一个台阶,然后用台阶仪器测定即可
3楼2008-06-06 17:24:12
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wl198367

一 台阶仪
二 扫描电镜看截面
三 椭圆偏振仪
四 干涉显微镜
第二种方法不用管样品与衬底透光性
第四种方法对薄膜厚度有要求 大约在绿光半个波长以内才可以做
4楼2008-06-06 17:24:36
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