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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 光刻去边工艺
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gjp244

金虫 (初入文坛)

[交流] 光刻去边工艺

在匀胶过程中使用自动去边程序，匀胶结束后在晶圆中间会溅有去边液，这个是什么原因造成的，应该怎么解决？
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1楼 2015-01-21 11:50:09
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zyb223300

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
gjp244(keailinger代发): 金币+6, 楼主请及时对虫子的应助交流贴进行评价和奖励。 2015-03-05 17:06:48
液体没有及时回吸，落在圆晶上出现溅射！
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2楼2015-03-04 16:59:18
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