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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】XPS能定量吗？
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light9791

[交流] 【求助】XPS能定量吗？

如果我想做表面元素分析，只有几十纳米深度，而且希望是定量的（大概百分之几）！该做什么呢？XPS能定量吗？尤其是这么低的含量。

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-6 at 14:02 ]
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1楼 2008-06-04 09:22:30
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yhw9102

木虫 (小有名气)
★
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其实xps的分析手段是半定量的
对于含量比较多的元素 准确度可以控制在10％一下
对于含量少的 就说不清楚了
但是对于表面分析的测试手段，似乎还没有在定量方面比xps更好的。
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4楼2008-06-04 10:44:04
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shinexq

木虫 (正式写手)
★
江南豪情(金币+1,VIP+0):交流鼓励奖！
应该可以的，我做质量分数0.5％掺杂的XRD作不出，XPS作出的结果是0.45％摩尔分数，
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2楼2008-06-04 10:10:11
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wwei

铜虫 (小有名气)
★
江南豪情(金币+1,VIP+0):交流鼓励奖！
XPS可以做元素定量分析，

经宽谱和窄谱扫描后，可分析元素种类，含量，结合状态，甚至可以得到各种化合物的百分含量
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3楼2008-06-04 10:22:28
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yhw9102

木虫 (小有名气)
★ ★
江南豪情(金币+2,VIP+0):交流鼓励奖！
另外，XPS的绝大部分信号是从5nm以内的表面层出来的，
你的样品有几十纳米，可以结合Ar离子溅射做元素的深度剖析
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5楼2008-06-04 10:47:11
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