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light9791

[交流] 【求助】XPS能定量吗?

如果我想做表面元素分析,只有几十纳米深度,而且希望是定量的(大概百分之几)!该做什么呢?XPS能定量吗?尤其是这么低的含量。

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-6-6 at 14:02 ]
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wwei

铜虫 (小有名气)


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XPS可以做元素定量分析,

经宽谱和窄谱扫描后,可分析元素种类,含量,结合状态,甚至可以得到各种化合物的百分含量
3楼2008-06-04 10:22:28
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shinexq

木虫 (正式写手)


江南豪情(金币+1,VIP+0):交流鼓励奖!
应该可以的,我做质量分数0.5%掺杂的XRD作不出,XPS作出的结果是0.45%摩尔分数,
2楼2008-06-04 10:10:11
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yhw9102

木虫 (小有名气)


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其实xps的分析手段是半定量的
对于含量比较多的元素 准确度可以控制在10%一下
对于含量少的 就说不清楚了
但是对于表面分析的测试手段,似乎还没有在定量方面比xps更好的。
4楼2008-06-04 10:44:04
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yhw9102

木虫 (小有名气)

★ ★
江南豪情(金币+2,VIP+0):交流鼓励奖!
另外,XPS的绝大部分信号是从5nm以内的表面层出来的,
你的样品有几十纳米,可以结合Ar离子溅射做元素的深度剖析
5楼2008-06-04 10:47:11
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