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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

[求助] su-8曝光剂量和曝光时间怎么转换? 已有2人参与

su-8曝光剂量和曝光时间怎么转换?有什么公式吗?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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毕业难啊
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

用标准板按照渐变的方式先曝光一片,其他的工艺(像转速,前后烘,显影时间和显影液的量)都固定不变,然后找出最好的图形,这个最好的图形的对应参数就可以用来做工艺了。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
3楼2015-01-23 10:07:49
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exciting73

金虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
测下光刻机的曝光能量密度,曝光剂量=曝光能量密度x曝光时间
2楼2015-01-17 20:16:41
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