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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » su-8曝光剂量和曝光时间怎么转换？
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czy498566174

金虫 (初入文坛)

学生党

[求助] su-8曝光剂量和曝光时间怎么转换？ 已有2人参与

su-8曝光剂量和曝光时间怎么转换？有什么公式吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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毕业难啊
1楼 2015-01-17 10:23:41
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
测下光刻机的曝光能量密度，曝光剂量=曝光能量密度x曝光时间
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2楼2015-01-17 20:16:41
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

用标准板按照渐变的方式先曝光一片，其他的工艺（像转速，前后烘，显影时间和显影液的量）都固定不变，然后找出最好的图形，这个最好的图形的对应参数就可以用来做工艺了。
赞一下 回复此楼
我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
3楼2015-01-23 10:07:49
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