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llvv

木虫 (小有名气)

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[求助] GaN表面金属镍薄膜退火成小球的条件

求助：

小女子最近想用金属镍小球刻蚀GaN，怎奈镍薄膜退火无论如何也没能形成小球，本人工艺条件是镍薄膜10nm，退火温度850,950，时间从1min到5min不等，氮气氛围，恳请各位高人指点！

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不要感到是生活亏欠了你，其实是时机未到或你努力不够

1楼 2015-01-16 11:30:09

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