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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » 新能源 » CIGS多靶同时溅射可行吗？
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kilong2628

新虫 (初入文坛)

[求助] CIGS多靶同时溅射可行吗？ 已有2人参与

由于工艺需要现在想要用多个CIGS靶同时溅射来制备CIGS薄膜，请问这样的方案可行吗？请大侠帮忙分析下！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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1楼 2015-01-12 11:35:39
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Gating

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你是指镀完一个靶再镀下一个靶还是，多个靶同时对1个基片镀膜？如果连续镀多个靶的话，均匀性可以保证，多个靶同时镀会不会影响均匀性呢？
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2楼2015-01-13 09:07:01
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kilong2628

新虫 (初入文坛)
???????:
2?: Originally posted by Gating at 2015-01-13 09:07:01
???????????????????????л?????????????1??????????????????????е????????????????????????????????????????

我就是??太清楚???问问的??我是想多个??????时对一组基片溅射??

[ ????С??????? ]
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3楼2015-01-13 09:13:59
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
现在有CIGS复合靶，没必要共溅射。成分根本就没法控制，均匀性非常差。
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呼市虫子在深圳创造奇迹！
4楼2015-01-13 09:46:36
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kilong2628

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xiaofeng-wang at 2015-01-13 09:46:36
现在有CIGS复合靶，没必要共溅射。成分根本就没法控制，均匀性非常差。

我用的就是复合靶，但是我想多个靶同时溅射，想问问这种做法是否可行

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2015-01-13 12:48:12
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