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wy12

铜虫 (小有名气)

[求助] ALD上铝的负载 已有1人参与

本人想使用ALD方法负载负载氧化铝,看文献上使用三甲基铝作为源,查了一下,这个东西很危险,并且只有2M的烷烃溶液,想知道用的时候是怎么用?非常感谢~~~
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tangqy

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【答案】应助回帖

有纯品销售的,我们接触一个ald设备就是用三甲基铝和四氯化钛
2楼2015-01-09 15:37:26
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