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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » ALD上铝的负载
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wy12

铜虫 (小有名气)

[求助] ALD上铝的负载 已有1人参与

本人想使用ALD方法负载负载氧化铝，看文献上使用三甲基铝作为源，查了一下，这个东西很危险，并且只有2M的烷烃溶液，想知道用的时候是怎么用？非常感谢~~~
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1楼 2015-01-05 21:41:34
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tangqy

捐助贵宾 (正式写手)

【答案】应助回帖

有纯品销售的，我们接触一个ald设备就是用三甲基铝和四氯化钛
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2楼2015-01-09 15:37:26
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