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xumandi·新虫 (小有名气)
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[求助]
请问RIE刻蚀金焊盘表面的氮化硅，会影响金表面的打线吗？ 已有1人参与
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先用电子束蒸发做了一层钛和金，然后再在金表面PECVD一层氮化硅，再RIE刻蚀掉金层表面焊盘位置覆盖的氮化硅，用光刻胶做掩膜， 刻蚀肯定是要把焊盘位置金上面的氮化硅都刻蚀掉，所以在刻蚀完氮化硅后刻蚀其他就会刻蚀金，请问这个刻蚀过程对金表面有影响吗？会不会影响到打线，导致金焊盘上打不上金线？ 求教 |
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xumandi·
新虫 (小有名气)
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- 专业: 气体放电与放电等离子体技
3楼2015-01-07 18:57:31
yswyx 
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2楼2014-12-22 13:49:26