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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请问RIE刻蚀金焊盘表面的氮化硅，会影响金表面的打线吗？
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xumandi·

新虫 (小有名气)

[求助] 请问RIE刻蚀金焊盘表面的氮化硅，会影响金表面的打线吗？ 已有1人参与

先用电子束蒸发做了一层钛和金，然后再在金表面PECVD一层氮化硅，再RIE刻蚀掉金层表面焊盘位置覆盖的氮化硅，用光刻胶做掩膜，
刻蚀肯定是要把焊盘位置金上面的氮化硅都刻蚀掉，所以在刻蚀完氮化硅后刻蚀其他就会刻蚀金，请问这个刻蚀过程对金表面有影响吗？会不会影响到打线，导致金焊盘上打不上金线？
求教
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1楼 2014-12-19 19:04:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
xumandi·: 金币+1, ★有帮助 2015-01-07 18:56:39
金肯定会受影响，RIE肯定有轰击的嘛，但是不会影响打线的。
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2楼2014-12-22 13:49:26
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xumandi·

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-22 13:49:26
金肯定会受影响，RIE肯定有轰击的嘛，但是不会影响打线的。

主要是担心是不是影响到金的表面，然后打不上金线了。谢谢
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3楼2015-01-07 18:57:31
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