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CVD Al2O3 过程中的AlCl3浓度的控制
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各位大神，我最近做CVD Al2O3，AlCl3-H2-CO2体系，这过程中的AlCl3浓度的控制为2%左右，我通过查找资料发现温度125度左右的时候Alcl3的饱和蒸汽压能达到这个水平。 我做实验的时候在三口烧瓶里面只放一些AlCl3粉末，然后油浴加热，同时通入CO2和H2的混合气，最后通入反应室中。 为什么通入气体后一会就发生了爆炸啊？ 我在操作方面或者实验设计方面有那些问题啊？ 有没有人做过这方面的，能指导我一下吗？ |
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