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zqxfcg金虫 (正式写手)
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[求助]
利用反应离子刻蚀 去除钯膜层
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| 我用等离子溅射的方法溅射了一层厚度在5nm左右的钯层在样品上，现在想利用反应离子刻蚀（通氩气）把这层钯去除掉，想知道大概的设置参数。有没有人做过这种，或者做过去除过金或者其他类似金属的膜层的？谢谢各位啦 |
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