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yanweihuang

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】SEM中的EDS谱中有一个Si峰和另一种元素重合代表什么呢

X射线能谱EDS中Si峰和另一种元素的峰重合,是什么意思,材料中是不含Si的,衬底是石英玻璃,请教达人帮忙解释一下。谢谢!

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-21 at 18:32 ]
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟

一般来说,一种元素是不只一个峰的,因此当看到峰有重合时,首先应该看看该元素在其他地方是否也有峰与之对应。另外,EDS对元素的判断并不是特别准确,有时会把A元素误判为B元素(我就经常碰到把Au标成另一种元素,好像是Pd,的情况),这也是在分析时应该注意的。
江湖背影
4楼2008-05-22 21:05:15
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fengroad

金虫 (著名写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心回答,材料版欢迎你
好像是Si和W的峰重合,那就是说Si和W的峰在一个位置。要么是Si,要么是W,根据你的组成决定,不知道是否正确。
衬底是石英玻璃,哪完全有可能把衬底打上去,因此而检测到Si。
2楼2008-05-21 23:44:33
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yhw9102

木虫 (小有名气)

很可能是你的材料太薄了 分析到基底的信息啦
EDX的信息深度能达到几个微米呢
3楼2008-05-22 14:38:50
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tjumark

金虫 (著名写手)

建议用光电子能谱,分析精度比EDS高.
知足常乐,奋斗不息。
5楼2008-05-25 11:28:47
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