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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【请教】SEM中的EDS谱中有一个Si峰和另一种元素重合代表什么呢
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yanweihuang

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】SEM中的EDS谱中有一个Si峰和另一种元素重合代表什么呢

X射线能谱EDS中Si峰和另一种元素的峰重合，是什么意思，材料中是不含Si的，衬底是石英玻璃，请教达人帮忙解释一下。谢谢!

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-21 at 18:32 ]
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1楼 2008-05-21 17:26:17
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fengroad

金虫 (著名写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心回答，材料版欢迎你
好像是Si和W的峰重合，那就是说Si和W的峰在一个位置。要么是Si，要么是W，根据你的组成决定，不知道是否正确。
衬底是石英玻璃，哪完全有可能把衬底打上去，因此而检测到Si。
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2楼2008-05-21 23:44:33
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yhw9102

木虫 (小有名气)
很可能是你的材料太薄了 分析到基底的信息啦
EDX的信息深度能达到几个微米呢
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3楼2008-05-22 14:38:50
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟
一般来说，一种元素是不只一个峰的，因此当看到峰有重合时，首先应该看看该元素在其他地方是否也有峰与之对应。另外，EDS对元素的判断并不是特别准确，有时会把A元素误判为B元素（我就经常碰到把Au标成另一种元素，好像是Pd，的情况），这也是在分析时应该注意的。
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江湖背影
4楼2008-05-22 21:05:15
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tjumark

金虫 (著名写手)
建议用光电子能谱，分析精度比EDS高.
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知足常乐，奋斗不息。
5楼2008-05-25 11:28:47
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