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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光栅在弱光下打坏了，求分析，有图
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manwood

新虫 (初入文坛)

[求助] 光栅在弱光下打坏了，求分析，有图 已有1人参与

如附件，硅基波导上的光栅输入的光是1550nm宽带连续光，功率约2mW。
结构是两边光栅，中间一根直波导，图里面坏的是输出端的光栅，输入端没坏。
非常困惑，因为硅基波导的损伤阈值没这么低，希望有遇过类似情况的师兄师姐一起讨论一下~感激不尽

光栅在弱光下打坏了，求分析，有图
01_5kV_10KX_S7159.jpg


光栅在弱光下打坏了，求分析，有图-1
QQ图片20141111125622.jpg
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1楼 2014-12-09 11:13:07
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by manwood at 2014-12-11 16:08:33
器件是自己做的。。。材料就是硅哈 衬底是二氧化硅 其他都是硅的 图的颜色不是真实颜色来的 第一张电镜图可以看到就是硅光栅的地方打坏了 ~...

SOI？
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4楼2014-12-11 18:54:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
对光栅不是很懂，但是看图片不像是硅光栅。
从光学显微镜上看。淡灰色的地方是硅，红色的应该是钝化层（氧化硅或者氮化硅），而金色的地方应该是金属，很可能是金。
所以被打坏的是金和低下的钝化层，而不是硅。
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2楼2014-12-09 19:13:56
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manwood

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-09 19:13:56
对光栅不是很懂，但是看图片不像是硅光栅。
从光学显微镜上看。淡灰色的地方是硅，红色的应该是钝化层（氧化硅或者氮化硅），而金色的地方应该是金属，很可能是金。
所以被打坏的是金和低下的钝化层，而不是硅。

器件是自己做的。。。材料就是硅哈 衬底是二氧化硅 其他都是硅的 图的颜色不是真实颜色来的 第一张电镜图可以看到就是硅光栅的地方打坏了 ~
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3楼2014-12-11 16:08:33
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manwood

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-11 18:54:08
SOI？...

是的~
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5楼2014-12-24 16:40:26
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