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manwood

新虫 (初入文坛)

[求助] 光栅在弱光下打坏了,求分析,有图 已有1人参与

如附件,硅基波导上的光栅输入的光是1550nm宽带连续光,功率约2mW。
结构是两边光栅,中间一根直波导,图里面坏的是输出端的光栅,输入端没坏。
非常困惑,因为硅基波导的损伤阈值没这么低,希望有遇过类似情况的师兄师姐一起讨论一下~感激不尽

光栅在弱光下打坏了,求分析,有图
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光栅在弱光下打坏了,求分析,有图-1
QQ图片20141111125622.jpg
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yswyx

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【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
对光栅不是很懂,但是看图片不像是硅光栅。
从光学显微镜上看。淡灰色的地方是硅,红色的应该是钝化层(氧化硅或者氮化硅),而金色的地方应该是金属,很可能是金。
所以被打坏的是金和低下的钝化层,而不是硅。
2楼2014-12-09 19:13:56
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manwood

新虫 (初入文坛)

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2楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-09 19:13:56
对光栅不是很懂,但是看图片不像是硅光栅。
从光学显微镜上看。淡灰色的地方是硅,红色的应该是钝化层(氧化硅或者氮化硅),而金色的地方应该是金属,很可能是金。
所以被打坏的是金和低下的钝化层,而不是硅。

器件是自己做的。。。材料就是硅哈 衬底是二氧化硅 其他都是硅的 图的颜色不是真实颜色来的 第一张电镜图可以看到就是硅光栅的地方打坏了 ~
3楼2014-12-11 16:08:33
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yswyx

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3楼: Originally posted by manwood at 2014-12-11 16:08:33
器件是自己做的。。。材料就是硅哈 衬底是二氧化硅 其他都是硅的 图的颜色不是真实颜色来的 第一张电镜图可以看到就是硅光栅的地方打坏了 ~...

SOI?
4楼2014-12-11 18:54:08
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manwood

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4楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-11 18:54:08
SOI?...

是的~
5楼2014-12-24 16:40:26
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yswyx

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5楼: Originally posted by manwood at 2014-12-24 16:40:26
是的~

硅材料在1550nm是穿透的,SiO也是。虽然2mw很大了,但是不应该啊。会不会是有脏东西掉在上面,造成了强吸收?
6楼2014-12-25 03:37:27
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manwood

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6楼: Originally posted by yswyx at 2014-12-25 03:37:27
硅材料在1550nm是穿透的,SiO也是。虽然2mw很大了,但是不应该啊。会不会是有脏东西掉在上面,造成了强吸收?...

清洗过了 还是这样哦
7楼2014-12-25 18:17:37
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