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maiyabc铁虫 (正式写手)
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[求助]
关于CVD的几个问题 已有1人参与
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关于CVD制备薄膜几个问题求助： 直径 400mm的K9或石英基底的元件，CVD是否可以制备？CVD能否可以制备高低折射率交替的薄膜？，若制备SiO2，HfO2的薄膜，每层0.2%的沉积厚度控制误差是否能达到？ |
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