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charleswang铁杆木虫 (正式写手)
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【求助】分子涡轮泵的问题
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分子涡轮泵在启动时到抽真空到10-5Torr时，任何问题都没有。沉积薄膜开始后一段时间，一般20分钟左右，先是听到不正常的声音，过几分钟分子涡轮泵就发出警报，显示出错，提示电压不足。第二天再使用时又出现同样的问题，总是这样，快急死了，哪位高手帮帮忙。谢谢了 [ Last edited by lvzhu2007 on 2008-5-20 at 12:35 ] |
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2楼2008-06-02 15:01:08
jamie82
木虫 (著名写手)
一三三
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 散金: 382
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- 虫号: 210578
- 注册: 2006-03-07
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2008-06-02 17:25:13
