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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】分子涡轮泵的问题
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charleswang

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】分子涡轮泵的问题

分子涡轮泵在启动时到抽真空到10-5Torr时，任何问题都没有。沉积薄膜开始后一段时间，一般20分钟左右，先是听到不正常的声音，过几分钟分子涡轮泵就发出警报，显示出错，提示电压不足。第二天再使用时又出现同样的问题，总是这样，快急死了，哪位高手帮帮忙。谢谢了

[ Last edited by lvzhu2007 on 2008-5-20 at 12:35 ]
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1楼 2008-05-20 12:24:51
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nini_chen

银虫 (小有名气)
★
zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流
出现这种问题，最好的方法就是找分子泵厂家，因为这种问题，自己解决起来比较困难。此外，从原因上分析，有可能是你工作气压太高，导致分子泵过载，或者说分子泵的冷却不好，刚好赶在你试验20分钟后出现报警。
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2楼2008-06-02 15:01:08
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三
★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流
我觉得很大的可能性是你分子泵的维持泵的抽速不够，也就是说在镀膜时通入了工作气体和反应气体，使分子泵的前级真空度太低了，一般分子泵的前级真空是要求高于5pa的，但压力高于5pa时就会报警自动关闭，下次镀膜时注意看看。

也可能是泵的本身问题。

[ Last edited by jamie82 on 2008-6-2 at 17:28 ]
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心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
3楼2008-06-02 17:25:13
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