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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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charleswang

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】分子涡轮泵的问题

分子涡轮泵在启动时到抽真空到10-5Torr时,任何问题都没有。沉积薄膜开始后一段时间,一般20分钟左右,先是听到不正常的声音,过几分钟分子涡轮泵就发出警报,显示出错,提示电压不足。第二天再使用时又出现同样的问题,总是这样,快急死了,哪位高手帮帮忙。谢谢了

[ Last edited by lvzhu2007 on 2008-5-20 at 12:35 ]
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nini_chen

银虫 (小有名气)


zt970831(金币+1,VIP+0):感谢您的交流
出现这种问题,最好的方法就是找分子泵厂家,因为这种问题,自己解决起来比较困难。此外,从原因上分析,有可能是你工作气压太高,导致分子泵过载,或者说分子泵的冷却不好,刚好赶在你试验20分钟后出现报警。
2楼2008-06-02 15:01:08
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三

★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流
我觉得很大的可能性是你分子泵的维持泵的抽速不够,也就是说在镀膜时通入了工作气体和反应气体,使分子泵的前级真空度太低了,一般分子泵的前级真空是要求高于5pa的,但压力高于5pa时就会报警自动关闭,下次镀膜时注意看看。

也可能是泵的本身问题。

[ Last edited by jamie82 on 2008-6-2 at 17:28 ]
心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
3楼2008-06-02 17:25:13
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