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求助:镍基单晶上镀硼膜有哪些方法,硼能做成箔状或者比较薄的片状吗?
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镍基单晶上镀硼膜有做过的吗? 我试过用磁控溅射镀硼膜,但是镀完后取出空气中膜层马上氧化变色,有什么其他的方法能在镍基单晶上镀硼膜吗?或者是硼能做成其他箔状的或者片状的吗?我的厚度只有3μm。 我查过一篇专利,在硅片上镀硼膜,有三种方法,分别为磁控溅射,电子束蒸发镀膜,用压片机将硼粉压成片状。 有哪位大神帮忙解答下啊,求啊!!!! |
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2014-11-30 17:00:06, 252.76 K
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薄膜制备与特性 |
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