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请问大家,做SEM样品喷金时,一般用氩气还是直接用空气啊?
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金虫
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专业: 极端条件下使用的金属材料
[交流]
请问大家,做SEM样品喷金时,一般用氩气还是直接用空气啊?
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如题,大家日常给SEM样品做喷金处理时,溅射仪是用氩气做电离介质呢还是空气?
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1楼
2014-11-26 21:57:51
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jiayoulinzi
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专业: 催化化学
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SEM 是先喷金 后抽真空吗 ?
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2014-11-27 18:59:52
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专业: 无机非金属类光电信息与功
抽真空
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2014-11-26 23:35:14
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peterflyer
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性别: GG
专业: 功能陶瓷
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
印象中只注意到了抽真空。不过说到放进少许气体的话,肯定应该是高纯氩气。
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3楼
2014-11-27 07:10:18
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专业: 结构陶瓷
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2014-11-27 07:14:44
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