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请问大家,做SEM样品喷金时,一般用氩气还是直接用空气啊?
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请问大家,做SEM样品喷金时,一般用氩气还是直接用空气啊?
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如题,大家日常给SEM样品做喷金处理时,溅射仪是用氩气做电离介质呢还是空气?
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印象中只注意到了抽真空。不过说到放进少许气体的话,肯定应该是高纯氩气。
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空气???介质啊
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SEM喷金一般都是抽真空,没见过充气的。
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抽真空而已,而且需要比较高的真空度。
进去气体的话,貌似仪器直接罢工。
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2014-11-27 09:27:57
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SEM 是先喷金 后抽真空吗 ?
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