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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dglcwh

新虫 (初入文坛)

[交流] su8腔室孔怎样显透? 已有2人参与

我们用su8胶做了一个封闭的腔室,然后想在一个面上做个50um左右的孔,做孔的这一面是这样的,我们先键合了很薄的一层su8胶曝光不显影,然后在这一层上再甩一层厚的su8胶,然后光刻显影,但是现在只有后边甩的这一层可以显透,键合的那一层不能显透,大家有没有遇到过这种情况???怎样解决的??
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exciting73

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
封闭的腔室是什么意思?在封闭腔室上做孔?
哪个型号的SU-8胶?
键合条件是什么如温度多少?
3楼2014-11-26 11:03:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
描述的文字和实验的结构无法建立联系啊,很困惑……
2楼2014-11-25 09:36:45
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