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su8腔室孔怎样显透？ 已有2人参与
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| 我们用su8胶做了一个封闭的腔室，然后想在一个面上做个50um左右的孔，做孔的这一面是这样的，我们先键合了很薄的一层su8胶曝光不显影，然后在这一层上再甩一层厚的su8胶，然后光刻显影，但是现在只有后边甩的这一层可以显透，键合的那一层不能显透，大家有没有遇到过这种情况？？？怎样解决的？？ |
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yswyx 
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2楼2014-11-25 09:36:45
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