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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » MEMS器件仿真应该采用什么软件比较好？
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hayou2013

银虫 (小有名气)

[求助] MEMS器件仿真应该采用什么软件比较好？ 已有9人参与

研二小虫一枚，课题是做一种MEMS器件，现要对其进行模拟仿真，请教各位神通广大的虫友，MEMS器件仿真应该采用什么软件比较好？主要涉及平面微弹簧和微气体驱动。
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1楼 2014-11-24 16:48:20
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扫把天下

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
推荐COMSOL 中的MEMS module
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hayou2013
give me beauty or give me death!
37楼2014-11-25 21:36:19
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shcj

铁杆木虫 (文坛精英)
★
hayou2013(金币+2): 谢谢参与
5楼2014-11-24 17:00:22
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shcj

铁杆木虫 (文坛精英)
★
hayou2013(金币+2): 谢谢参与
祝福楼主！
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12楼2014-11-24 17:00:56
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假大空
★
hayou2013(金币+2): 谢谢参与
13楼2014-11-24 17:02:00
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