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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » MEMS器件仿真应该采用什么软件比较好？
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hayou2013

银虫 (小有名气)

[求助] MEMS器件仿真应该采用什么软件比较好？ 已有9人参与

研二小虫一枚，课题是做一种MEMS器件，现要对其进行模拟仿真，请教各位神通广大的虫友，MEMS器件仿真应该采用什么软件比较好？主要涉及平面微弹簧和微气体驱动。
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1楼 2014-11-24 16:48:20
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ledlau

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hayou2013: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢，我考虑一下 2014-11-25 12:19:04
推荐楼主使用Comsol 多物理场耦合仿真分析软件。
MEMS分析比较合适
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辛勤耕耘，收获知识，收获美好人生
30楼2014-11-25 09:34:45
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普通回帖

dmbb
★
hayou2013(金币+2): 谢谢参与
2楼2014-11-24 16:57:26
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shcj

铁杆木虫 (文坛精英)
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
3楼2014-11-24 16:59:52
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shcj

铁杆木虫 (文坛精英)
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
4楼2014-11-24 17:00:09
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shcj

铁杆木虫 (文坛精英)
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
5楼2014-11-24 17:00:22
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qqllqq
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
6楼2014-11-24 17:00:27
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qqllqq
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
7楼2014-11-24 17:00:33
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shcj

铁杆木虫 (文坛精英)
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
谢楼主！
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8楼2014-11-24 17:00:38
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qqllqq
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
9楼2014-11-24 17:00:40
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qqllqq
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hayou2013(金币+2): 谢谢参与
10楼2014-11-24 17:00:46
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