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用光热偏转谱PDS测试非晶薄膜缺陷浓度的疑问？
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非晶薄膜的缺陷浓度测试，我查到用光热偏转谱PDS进行测试，求问谁知道非晶薄膜的浓度缺陷应该怎么测试吗？ 光热偏转谱在哪里可以测试呢？ 谢谢 我参考的文章是1996年的一篇“用光热偏转谱拟合计算研究非晶硅缺陷态及其稳定性“ |
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