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关于气相沉积中电压变化的问题
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| 在热丝气相沉积过程中,热丝工作电流一定,其它实验参数也为调的情况下,电压一会降低,一会又反弹回来,一般是调到工作电流几分钟之后,工作电压开始自动下降,几分钟下降0.1伏,慢慢又回升,这是什么原因,是烧丝没烧好吗? |
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