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PMMA-氯仿旋涂制膜不平 已有4人参与
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本人最近在做PMMA甩膜的实验。使用的是PMMA晶状颗粒，每一个规格都是20mg；溶剂使用的是氯仿， 目前使用过的百分数是2%，3.2%，4%，5mL容量瓶。旋涂的条件1500-3000的转速都有，但是膜的 表面就是很不平，台阶仪扫描范围600 um，起伏30 nm左右，但是我知道好的可以到5nm起伏左右。 请教经验 |
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lordlbl
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