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请问各位大神,FTO导电玻璃,我想用来做衬底,在500度下磁控溅射薄膜,FTO受得了吗?
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专业: 半导体材料
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请问各位大神,FTO导电玻璃,我想用来做衬底,在500度下磁控溅射薄膜,FTO受得了吗?
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RT!!!还补充一下:溅射完还要拿去退火,怕不行啊!!有大神有经验分享吗???谢谢了!!!
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cord
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1楼
2014-11-14 14:50:24
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专业: 半导体电子器件
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大部分FTO在500摄氏度下保持20分钟没问题 在长的话就要看你买的玻璃了
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2014-11-15 15:49:26
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FTO的玻璃衬底耐火温度多高,这个需要问你的FTO提供商了。
玻璃的耐火温度足够就可以。
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2楼
2014-11-15 01:53:18
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没啥问题,我们实验中FTO导电玻璃600烧1小时完全没问题
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5楼
2014-11-15 15:53:15
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