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yangyongmao

新虫 (初入文坛)

[求助] 单晶硅纳米柱--光阴极的制作问题

本人以单晶硅纳米柱为光阴极进行光解水制氢,现在有以下两个问题请教:
1)用HF刻蚀制备硅纳米柱时如何保护铝背场?
2)沉积Ag颗粒时,如何确保沉积的银均匀?
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阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)


yangyongmao: 金币+1 2014-11-14 16:58:00
帮顶一下,不懂 ~~~~~~~~~~~~~
自强不息,厚德载物;独立精神,自由思想。
3楼2014-11-14 07:07:59
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
yangyongmao: 金币+5 2014-11-14 16:57:44
HF能刻蚀硅吗?HF是可以刻蚀SiOX层。
不让HF接触铝背场就可以了,用胶,或者先刻蚀在长铝背场。

Ag颗粒的均匀性问题要根据你所用的沉积方法来决定,统一答案就是好好调试你的实验室条件。
2楼2014-11-14 05:05:47
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yangyongmao

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by cord at 2014-11-14 05:05:47
HF能刻蚀硅吗?HF是可以刻蚀SiOX层。
不让HF接触铝背场就可以了,用胶,或者先刻蚀在长铝背场。

Ag颗粒的均匀性问题要根据你所用的沉积方法来决定,统一答案就是好好调试你的实验室条件。

谢谢!用什么胶可以啊?因为长完铝背场后需要再次用硫酸和双氧水的溶液清洗抛光面,我用的AB胶会被氧化溶解了,如果不再次清洗的话不能得到硅纳米柱。2)沉积银颗粒时,单晶硅表面到什么颜色就可以了?
5楼2014-11-14 09:30:47
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changge87

铁杆木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
当然是先刻蚀硅,之后再做铝背场的啊。
沉积颗粒就按照文献的浓度和时间就可以了,是什么颜色就什么颜色被。是浓浓的一坨?
6楼2014-11-15 17:08:04
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