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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 新手刚刚接触OLED，求问
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我是益虫

金虫 (正式写手)

[求助] 新手刚刚接触OLED，求问 已有4人参与

在做热蒸镀的时候，温度设定为300度左右，会不会影响到ITO？还有在加热的时候，ITO温度高了会不会影响镀层在ITO上面的沉积？
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1楼 2014-11-12 17:03:34
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caopeng129

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 我是益虫 at 2014-11-14 16:21:05
距离大概在2-3cm,也是蒸镀有机材料。不过压强在10E-2--10E-3。主要是怕温度不合适，最后镀不上膜...

你的基板尺寸是多少的？TS距离2-3cm，你又怎么保证膜厚以及均一性呢？你的压强单位也没写，是pa还是torr。。。
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17楼2015-01-17 22:39:15
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ekin007

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
300摄氏度不会影响到ITO，600度以上就要小心了
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2楼2014-11-13 22:51:19
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ekin007 at 2014-11-13 22:51:19
300摄氏度不会影响到ITO，600度以上就要小心了

不是在真空环境下嘛？会不会影响到它的沸点之类的呢？
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3楼2014-11-14 09:10:18
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yezhonghua09

金虫 (正式写手)
这个要看你的蒸镀源到ITO的蒸镀距离了，一般400度以下，10E-7torr下，我们经常蒸镀有机材料，无机材料我们蒸镀源温度干到800-900度都没有问题!
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我是益虫
4楼2014-11-14 15:24:38
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