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我是益虫

金虫 (正式写手)

[求助] 新手刚刚接触OLED，求问 已有4人参与

在做热蒸镀的时候，温度设定为300度左右，会不会影响到ITO？还有在加热的时候，ITO温度高了会不会影响镀层在ITO上面的沉积？
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1楼 2014-11-12 17:03:34
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ekin007

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
300摄氏度不会影响到ITO，600度以上就要小心了
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2楼2014-11-13 22:51:19
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ekin007 at 2014-11-13 22:51:19
300摄氏度不会影响到ITO，600度以上就要小心了

不是在真空环境下嘛？会不会影响到它的沸点之类的呢？
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3楼2014-11-14 09:10:18
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yezhonghua09

金虫 (正式写手)
这个要看你的蒸镀源到ITO的蒸镀距离了，一般400度以下，10E-7torr下，我们经常蒸镀有机材料，无机材料我们蒸镀源温度干到800-900度都没有问题!
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我是益虫
4楼2014-11-14 15:24:38
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erjianxin

至尊木虫 (文坛精英)

生活就是战斗！

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ITO膜300度已经快到极限了，FTO的高温性能要好很多，最高可到600度
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5楼2014-11-14 16:18:52
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我是益虫

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by yezhonghua09 at 2014-11-14 15:24:38
这个要看你的蒸镀源到ITO的蒸镀距离了，一般400度以下，10E-7torr下，我们经常蒸镀有机材料，无机材料我们蒸镀源温度干到800-900度都没有问题!

距离大概在2-3cm,也是蒸镀有机材料。不过压强在10E-2--10E-3。主要是怕温度不合适，最后镀不上膜
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6楼2014-11-14 16:21:05
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by erjianxin at 2014-11-14 16:18:52
ITO膜300度已经快到极限了，FTO的高温性能要好很多，最高可到600度

但是温度太低的话，有机物没办法蒸发镀到ITO上面去啊
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7楼2014-11-14 16:24:28
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erjianxin

至尊木虫 (文坛精英)

生活就是战斗！

【答案】应助回帖

蒸镀的温度是300℃，但上面的ITO表面会低于这个温度的，应该没有问题
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8楼2014-11-14 16:27:29
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我是益虫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by erjianxin at 2014-11-14 16:27:29
蒸镀的温度是300℃，但上面的ITO表面会低于这个温度的，应该没有问题

我做的时候是用的一种简易的设备，直接把ITO玻璃放到蒸发舟的上面，有机物就放在蒸发舟里面的，估计温度还是有点高
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9楼2014-11-14 17:08:55
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yezhonghua09

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 我是益虫 at 2014-11-14 16:21:05
距离大概在2-3cm,也是蒸镀有机材料。不过压强在10E-2--10E-3。主要是怕温度不合适，最后镀不上膜...

你距离太短了，这样辐射热对ITO影响很大，同时对蒸镀上去的有机膜也会有影响。
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我是益虫
10楼2014-11-14 21:52:32
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