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我是益虫

金虫 (正式写手)

[求助] 新手刚刚接触OLED,求问 已有4人参与

在做热蒸镀的时候,温度设定为300度左右,会不会影响到ITO?还有在加热的时候,ITO温度高了会不会影响镀层在ITO上面的沉积?
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yezhonghua09

金虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 我是益虫 at 2014-11-14 16:21:05
距离大概在2-3cm,也是蒸镀有机材料。不过压强在10E-2--10E-3。主要是怕温度不合适,最后镀不上膜...

你距离太短了,这样辐射热对ITO影响很大,同时对蒸镀上去的有机膜也会有影响。

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10楼2014-11-14 21:52:32
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ekin007

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
300摄氏度不会影响到ITO,600度以上就要小心了
2楼2014-11-13 22:51:19
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我是益虫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ekin007 at 2014-11-13 22:51:19
300摄氏度不会影响到ITO,600度以上就要小心了

不是在真空环境下嘛?会不会影响到它的沸点之类的呢?
3楼2014-11-14 09:10:18
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yezhonghua09

金虫 (正式写手)

这个要看你的蒸镀源到ITO的蒸镀距离了,一般400度以下,10E-7torr下,我们经常蒸镀有机材料,无机材料我们蒸镀源温度干到800-900度都没有问题!

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4楼2014-11-14 15:24:38
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