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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】EDS和XPS的精度
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freeman3

铁虫 (小有名气)

[交流] 【请教】EDS和XPS的精度

EDS和XPS的精度
大家好，如果想检测表明上微量元素的成分，比如检查是否含有Cu（含量少于1% 级别），此时用xps和EDS哪个精度高些呢？谢谢

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-6 at 14:50 ]
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1楼 2008-05-11 16:38:39
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ygzhan

木虫 (正式写手)
EDS的定量可信度不高
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2楼2008-05-12 07:51:34
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temedx

专家顾问 (著名写手)
是XPS，无论是含量的底限还是能量分辨率都是XPS好。
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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
3楼2008-05-12 08:23:49
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zhanglexi

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫路过之王
EDS的定量可信度不高，对O以下的轻元素很难检测
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Inner peace.
4楼2008-05-12 08:53:58
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dlchenzzu

金虫 (著名写手)
同意楼上各位
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5楼2008-05-13 07:31:20
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kuku5837135

银虫 (正式写手)
对于XPS也要看元素结合能分布的吧，有些元素峰位也较难分辨
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6楼2008-05-13 08:16:43
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waitingyou

铁杆木虫 (小有名气)
一般XPS和EDX对于含量小于1％的都是不准确的，小于5％以下的正负10％
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7楼2008-05-13 11:33:13
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freeman3

铁虫 (小有名气)
其实我不想做定量检测，只是想看看是否有很少量的Cu存在，（我的样品是在Si片表面的），谢谢各位
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8楼2008-05-14 11:03:35
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星空下的夜行人

铜虫 (小有名气)
那就做EDS吧
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9楼2008-05-26 20:38:23
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saintflyer

银虫 (小有名气)
制样的时候去除杂质就行了，要是不定量，那个便宜用哪个，建议EDS
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10楼2008-05-26 23:20:23
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