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freeman3

铁虫 (小有名气)

[交流] 【请教】EDS和XPS的精度

EDS和XPS的精度
大家好,如果想检测表明上微量元素的成分,比如检查是否含有Cu(含量少于1% 级别),此时用xps和EDS哪个精度高些呢?谢谢

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-6 at 14:50 ]
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ygzhan

木虫 (正式写手)

EDS的定量可信度不高
2楼2008-05-12 07:51:34
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temedx

专家顾问 (著名写手)

是XPS,无论是含量的底限还是能量分辨率都是XPS好。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
3楼2008-05-12 08:23:49
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zhanglexi

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫路过之王

EDS的定量可信度不高,对O以下的轻元素很难检测
Inner peace.
4楼2008-05-12 08:53:58
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dlchenzzu

金虫 (著名写手)

同意楼上各位
5楼2008-05-13 07:31:20
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kuku5837135

银虫 (正式写手)

对于XPS也要看元素结合能分布的吧,有些元素峰位也较难分辨
6楼2008-05-13 08:16:43
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waitingyou

铁杆木虫 (小有名气)

一般XPS和EDX对于含量小于1%的都是不准确的,小于5%以下的正负10%
7楼2008-05-13 11:33:13
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freeman3

铁虫 (小有名气)

其实我不想做定量检测,只是想看看是否有很少量的Cu存在,(我的样品是在Si片表面的),谢谢各位
8楼2008-05-14 11:03:35
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星空下的夜行人

铜虫 (小有名气)

那就做EDS吧
9楼2008-05-26 20:38:23
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saintflyer

银虫 (小有名气)

制样的时候去除杂质就行了,要是不定量,那个便宜用哪个,建议EDS
10楼2008-05-26 23:20:23
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