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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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freeman3

铁虫 (小有名气)

[交流] 【请教】EDS和XPS的精度

EDS和XPS的精度
大家好,如果想检测表明上微量元素的成分,比如检查是否含有Cu(含量少于1% 级别),此时用xps和EDS哪个精度高些呢?谢谢

[ Last edited by jackchen145 on 2008-6-6 at 14:50 ]
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freeman3

铁虫 (小有名气)

其实我不想做定量检测,只是想看看是否有很少量的Cu存在,(我的样品是在Si片表面的),谢谢各位
8楼2008-05-14 11:03:35
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ygzhan

木虫 (正式写手)

EDS的定量可信度不高
2楼2008-05-12 07:51:34
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temedx

专家顾问 (著名写手)

是XPS,无论是含量的底限还是能量分辨率都是XPS好。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
3楼2008-05-12 08:23:49
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zhanglexi

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫路过之王

EDS的定量可信度不高,对O以下的轻元素很难检测
Inner peace.
4楼2008-05-12 08:53:58
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