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chenfang1989

木虫 (小有名气)

[求助] ALD AlN

各位大神,用ALD生长AlN,生长100周期,AlN能有多厚?
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chenfang1989

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by huangjiabin at 2014-11-18 16:25:11
你生长100周期后拿到扫描电镜下看个截面不就可以了嘛

应该不行吧,扫描电镜是微米级别的,AlN厚度才几到几十纳米
5楼2014-11-19 16:25:00
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

干嘛不实际测一下呢?
2楼2014-11-11 20:48:44
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chenfang1989

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wbcui at 2014-11-11 20:48:44
干嘛不实际测一下呢?

目前联系的地方还没建立GaAs厚度测试的数据库
3楼2014-11-12 08:18:23
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huangjiabin

铜虫 (初入文坛)

你生长100周期后拿到扫描电镜下看个截面不就可以了嘛
4楼2014-11-18 16:25:11
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