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木虫 (小有名气)

[求助] ALD AlN

各位大神，用ALD生长AlN，生长100周期，AlN能有多厚？

1楼 2014-11-11 20:38:06

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木虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by wbcui at 2014-11-11 20:48:44
干嘛不实际测一下呢？

目前联系的地方还没建立GaAs厚度测试的数据库

3楼2014-11-12 08:18:23

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木虫 (小有名气)

引用回帖:

4楼: Originally posted by huangjiabin at 2014-11-18 16:25:11
你生长100周期后拿到扫描电镜下看个截面不就可以了嘛

应该不行吧，扫描电镜是微米级别的，AlN厚度才几到几十纳米

5楼2014-11-19 16:25:00

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