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【求助】直流溅射非金属材料要求靶材的电阻率是多少?
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请问:直流溅射非金属材料(如重掺杂的硅),对于靶材的电阻率要求小于多少时,溅射才能正常进行呢? 谢谢! [search]直流溅射 电阻率[/search] [ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-9 at 00:28 ] |
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3楼2008-05-09 09:45:24
glass114
木虫 (正式写手)
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4楼2008-05-09 19:49:50














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