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【求助】直流溅射非金属材料要求靶材的电阻率是多少？
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请问：直流溅射非金属材料（如重掺杂的硅），对于靶材的电阻率要求小于多少时，溅射才能正常进行呢？ 谢谢！ [search]直流溅射 电阻率[/search] [ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-9 at 00:28 ] |
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2楼2008-05-09 00:15:06
3楼2008-05-09 09:45:24
glass114
木虫 (正式写手)
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- 专业: 金属材料表面科学与工程
4楼2008-05-09 19:49:50