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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 关于真空检漏
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chenjiahao

木虫 (正式写手)

[求助] 关于真空检漏 已有1人参与

求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？
希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。
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这个地方真不错
1楼 2014-11-03 20:11:48
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-04 19:13:04
那就只能检漏了，一般没有别的好办法，有检漏仪没？
...

有检漏仪，不好意思，我不小心把金币全给你了。
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这个地方真不错
13楼2014-11-05 16:01:07
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wangxdsxs

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+50, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2014-11-03 20:28:16
tiamo6089: 金币-40, 楼主发金币发多了，代为扣回，敬请谅解。 2014-11-04 16:33:16
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-11-03 20:22:28
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-03 20:22:28
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。
...

你说的高规面板上的出气按钮是哪个啊？
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这个地方真不错
3楼2014-11-03 20:33:10
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-03 20:22:28
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。
...

我知道那个按钮了，谢谢
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这个地方真不错
4楼2014-11-03 20:35:17
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